石英材料:0716-8304668/0716-8333088

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低膨胀石英 LEQZ ®

材料简介

Introduction


3 低膨胀石英3 - 1000-300 拷贝.jpg
      

口径超过一米。
在室温区间下具有近零的热膨胀系数,且热膨胀均匀性好,应力低,可根据客户要求定制一定零膨点温度区域的产品。
作为精密光路系统的反射镜、激光谐振腔体等部件,应用于天基太空望远镜、半导体光刻设备用光学元件等高精尖领域。

Ultra-low expansion quartz glass with a diameter of more than 1meter, It has a near-zero thermal expansion coefficient in the room temperature range, and the zero expansion point temperature range is controllable. As a mirror of precision optical system, laser resonant cavity and other components, it is used in space-based space telescopes, optical components for semiconductor lithography equipment, atomic clocks and other fields.


热膨胀系数

Coefficient of Thermal Expansion 

热膨胀系数低.jpg

热膨胀系数低

Near-zero thermal expansion coefficient

可控的零膨胀点区间.jpg

可控的零膨点区间

Controllable zero expansion point interval

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CTE均匀值

CTE Homogeneity

CTE均匀性 图1.png

                OD660×50mm CTE均匀性(PV):30 ppb  
                OD660×30mm 应力双折射均值 :9.79 nm/cm

CTE均匀性 图2.png

                OD950×65 mm CTE均匀性(PV):17.1 pp ppb  
                OD950×60 mm 应力双折射均值:12.31 nm/cm

CTE均匀性 图3.png

                160×160×10 mm CTE均匀性(PV) :<10 ppb  
               160×160×10 mm 应力双折射均值 :2.71 nm/cm

物理性能

Physical properties

生产厂商

平均线膨胀系数5-30℃(α)

导热系数 (K)

热扩散率 (D)

体积热阻率200°C,100Hz (R)

平均比热(Cp)

应变点

退火点

软化点

泊松比(v)

极限拉伸应力 (MOR)

努氏硬度,200g 载荷

密度(ρ)

比刚度(E/ρ)

剪切模量 (G)

体积模量 (K)

弹性模量 (E)

应力光学系数

折射率(标称 CTE 材料)

阿贝数

LEQZ®

0 - ±30ppb/℃

1.31 w / (m· ℃) [1.13 kcal / (m·h·℃)]

0.0079 cm/s

10 11.6 ohm· cm

767 J / (kg·℃)
[0.183 cal / (g·℃)]

890 ℃ [1634°F]

1000 ℃ [1832°F]

1490 ℃ [2714°F]

49.8 MPa [7220 psi]

518kg / mm²

2.21g / cm³ [0.079 lb / in³ ]

3.12x10m6[1.23 x 108 in]

29.0 GPa [4.20 x 106 psi]

34.1 GPa [4.95 x 106 psi]

67.6 GPa [9.80 x 106 psi]

3.12x10 m6[1.23 x 108in]

≤30 (nm/cm)/(kg/cm² )

nF (486 nm) 1.4892
nD(589 nm) 1.4828
nC (656 nm) 1.480

53.1

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