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无氯合成石英 FNCL

材料简介

Introduction

1 无氯 宽图1 拷贝 - 502-402.jpg

FNCL合成石英采用有机硅的环保工艺制造产品
不含氯无气泡具有超高纯度
是目前半导体应用中最清洁的材料之一,
其优异的透过率耐辐照性能成为紫外波段应用的理想材料。


Made by organic silicon with environmental protection process, FNCL synthetic quartz material is one of the cleanest material in semiconductor applications due to its characteristics of chorine free, no bubble and high purity. It is the ideal material for ultraviolet applications for its excellent transmittance and radiation resistance.

透过率

Transmittance spectral curve

曲线1  - 500 拷贝.jpg

外部透过率

曲线2  - 500 拷贝.jpg

辐照后透过率变化


性能指标

Critical indicators

关键指标

金属杂质含量

氯含量

羟基含量

温升

激光损伤阈值(体损伤,355nm)

量热法弱吸收

<0.1 ppm

< 1 ppm

800-1000 ppm

3℃ (8000W , 1200Hz , 150s)

16.033 J/cm²

0.3%-0.5% ( 193nm )

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