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电熔不透明石英 FSTQZ®W

材料简介

Introduction

电熔不透明石英玻璃拥有

低透过率，高热反射率，

可以有效地降低热损失，并能延长加热部件的寿命。

该材料可以进行焊接、火抛光以及高精度光学抛光处理，

拥有高密度，优异的机加光洁度，火抛后良好的光洁度，更长的使用寿命。

适用于半导体热处理制程。

Electric fused opaque quartz glass has low transmission, high heat reflectivity, which can effectively reduce heat loss and can extend the lifespan of heating parts. The material can be welded, fire-polished, and high-precision optical polished, featuring high density, excellent machining finish, good surface finish after firing, and longer service life. Suitable for semiconductor heat treatment processes.

物理性能

Physical Property

密度（g/cm³ ）

孔隙率

孔径

线膨胀系数（ 0-900℃）10^-6 ℃ ^-1

比热（J/g·K）在20℃条件下

最高工作温度—持续稳定的℃

最高工作温度—短期℃

介电损耗角室温 13.56 MHz

热导率（W/m·k）在20℃条件下

2.18~2.19

＜0.5%

＜10 μm

0.45

0.75

1100

1300

2×10^-4

1.39

杂质含量

Chemical purity

杂质元素典型值 (ppm)

12.29

1.05

0.03

0.0

0.53

0.01

0.00

0.30

0.47

0.98

1.64

1.42

0.00

总和

18.72

光学性能

Optical Properties

透过率
（400-2000nm）

反射率
（400-2200nm）

>0.5%

>60%

图a.电熔不透明石英FSTQZ®W 透过率

图b.电熔不透明石英FSTQZ®W 反射率

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